キーワード 「要素 関連」2020.11.8

1.MEMS（メムス、Micro Electro Mechanical Systems）

機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を、基板等の上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。機械部品と電子部品のハイブリッド型で、速度や圧力を測るセンサなどとして用途が広がっている。高機能携帯電話やゲーム機のほか、自動車でも使われており、今後は医療機器や燃料電池への応用も見込まれている。

2.マイクロアクチュエータ（micro actuator）

何らかのエネルギー源で微小な構造体を駆動し、その動きを利用するものである。エネルギー源は、①熱、②形状記憶合金、③圧電材料、①静電気力の４つが利用される。

マイクロアクチュエータを用いたMEMSとしては、マイクログリッパー、マイクロモータ、マイクロバルブ、マイクロポンプなどがある。

3.歯付ベルト（toothed belt）

平ベルトの内側にベルト長手方向と直角に歯今持つかみあい伝動ベルトのことである。動力伝達とともに正確な回転伝達や位置決めが行える。摩擦伝動ベルトより取付け張力が小さくてよい。

以上